İzolyasiya edən keramika substratının materialı

Nəticədə, izolyasiya etmək üçünkeramika substratı, yüksək istilik keçirmə sürətinə və mexaniki möhkəmliyə malik olmaq tələb olunur. Keramika substratlarını izolyasiya etmək üçün bir material olaraq, alüminium nitrid və silikon nitrid kimi sadalana bilər, lakin izolyasiya üçünkeramika substratıalüminium nitridin istifadəsi, istilik keçirmə sürəti yüksək, lakin mexaniki gücü aşağı olduğu üçün belə çatlar yaratmaq asandır. Keramika substratına böyük bir gərginlik tətbiq etmək üçün istifadə olunan bu tip strukturlar üçün güc yarımkeçirici modulu. Buna görə də, aşağıdakı patent ədəbiyyatında 1, aşağı istilik keçiriciliyi ilə şüşə faza nisbətini azaltmaq və aşağı istilik keçiriciliyi ilə silikon nitrid plitəsinin istilik keçiriciliyini artırmaq üçün bir silisium nitrid plitəsinin bir nümunəsi ictimaiyyətə açıqlanır. Aşağıda bu texnikanın ilk məlum nümunəsidir;

Bundan əlavə, aşağıdakı patent ədəbiyyatında 2, silisium nitridin nümunələrikeramikaSilisium nitrid dənələrinin obyektivdaxili kristal fazası vasitəsilə daha möhkəm birləşməsini təmin etmək üçün kristal aləminin intrinsikləşdirilməsini həyata keçirmək üçün materiallar ictimaiyyətə açıqlanır. İntensivliyi yaxşılaşdırmaq üçün. Texnologiya ikinci məlum nümunədir; əlavə olaraq, aşağıdakı patent ədəbiyyatında 3, silikon-nitrid istilik yayılması komponentlərinin nəşrinin bir nümunəsi ictimaiyyətə açıqdır. Silikon-nitrid istilik yayma hissələri. Texnologiya üçüncü məlum nümunədir; Bundan əlavə, aşağıdakı patent ədəbiyyatında 4, silisium nitridi sinterləmə orqanının nümunələri var. Əla təsirli sarkazm.